TheMOCVDMbinu ni mojawapo ya michakato thabiti inayotumika sasa katika tasnia kukuza filamu nyembamba zenye fuwele zenye ubora wa hali ya juu, kama vile epilayers za awamu moja za InGaN, vifaa vya III-N, na filamu za semiconductor zenye miundo mingi ya visima, na ina umuhimu mkubwa katika utengenezaji wa vifaa vya semiconductor na optoelectronic.
TheSiC mipako MOCVD susceptorni kishikilia kaki maalumu kilichopakwa silicon carbudi (SiC) kwaepitaxial ukuaji wa mchakato wa uwekaji wa mvuke wa kemikali ya kikaboni ya chuma (MOCVD).
Mipako ya SiC ina upinzani bora wa kemikali na uthabiti wa joto, na kuifanya kuwa chaguo bora kwa vihasishi vya MOCVD vinavyotumika katika kudai michakato ya ukuaji wa epitaxial.
Sehemu muhimu ya mchakato wa MOCVD ni susceptor, ambayo ni kipengele muhimu ili kuhakikisha usawa na ubora wa filamu nyembamba zinazozalishwa.
Je, kinyesi ni nini? Kishinikizo ni kijenzi maalumu kinachotumika katika mchakato wa MOCVD kusaidia na kupasha joto substrate ambayo filamu nyembamba huwekwa. Ina kazi nyingi, ikiwa ni pamoja na kunyonya nishati ya sumakuumeme, kuigeuza kuwa joto, na kusambaza sawasawa joto kwenye substrate. Inapokanzwa sare hii ni muhimu kwa ukuaji wa filamu nyembamba sare na unene sahihi na muundo.
Aina za susceptors:
1. Vinyesi vya grafiti: Vinyesi vya grafiti mara nyingi hupakwa safu ya kinga kama vile.silicon carbudi (SiC), ambayo inajulikana kwa conductivity ya juu ya mafuta na utulivu. TheMipako ya SiChutoa uso mgumu, wa kinga unaopinga kutu na uharibifu kwa joto la juu.
2. Vipuli vya Silicon CARBIDE (SiC): Vihasishi hivi vimetengenezwa kwa SiC kabisa na vina uimara bora wa mafuta na upinzani wa kuvaa. Vipuli vya SiC vinafaa hasa kwa michakato ya joto la juu na mazingira ya babuzi.
Jinsi susceptors hufanya kazi katika MOCVD:
Katika mchakato wa MOCVD, watangulizi huletwa kwenye chumba cha majibu ambapo hutengana na kuguswa kuunda filamu nyembamba kwenye substrate. Kishinikizo kina jukumu muhimu kwa kuhakikisha kwamba substrate inapashwa joto sawasawa, ambayo ni muhimu ili kufikia sifa thabiti za filamu kwenye uso mzima wa substrate. Nyenzo na muundo wa kizio huchaguliwa kwa uangalifu ili kukidhi mahitaji maalum ya mchakato wa uwekaji, kama vile kiwango cha joto na utangamano wa kemikali.
Faida za kutumia susceptors za ubora wa juu:
• Ubora wa filamu ulioimarishwa: Kwa kutoa usambazaji sawa wa joto, kibasi husaidia kufikia filamu zenye unene na utunzi thabiti, ambao ni muhimu kwa utendakazi wa vifaa vya semiconductor.
• Ufanisi wa mchakato ulioboreshwa: Vihasishi vya ubora wa juu huongeza ufanisi wa jumla wa mchakato wa MOCVD kwa kupunguza uwezekano wa kasoro na kuongeza mavuno ya filamu zinazoweza kutumika.
• Muda wa maisha na kutegemewa: Vidhibiti vilivyotengenezwa kwa nyenzo za kudumu kama vile SiC huhakikisha kutegemewa kwa muda mrefu na kupunguza gharama za matengenezo.
Kivuta ni sehemu muhimu katika mchakato wa MOCVD na huathiri moja kwa moja ubora na ufanisi wa uwekaji wa filamu nyembamba. Kwa habari zaidi juu ya saizi zinazopatikana, vidhibiti vya MOCVD na bei, tafadhali usisite kuwasiliana nasi. Wahandisi wetu watafurahi kukushauri juu ya nyenzo zinazofaa na kujibu maswali yako yote.
Simu: +86-13373889683
WhatsApp: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
Muda wa kutuma: Aug-12-2024