SEHEMU/1CVD (Uwekaji wa Mvuke wa Kemikali):Katika 900-2300℃, kwa kutumia TaCl5 na CnHm kama vyanzo vya tantalum na kaboni, H₂ kama angahewa ya kupunguza, Ar₂kama gesi ya kibebea, filamu ya uwekaji athari.Mipako iliyoandaliwa ni compact, sare na usafi wa juu.Walakini, kuna shida kadhaa ...
Soma zaidi