SEHEMU 1
Mbinu ya CVD (Uwekaji wa Mvuke wa Kemikali):
Kwa 900-2300℃, kwa kutumia TaCl5na CnHm kama vyanzo vya tantalum na kaboni, H₂ kama angahewa ya kupunguza, Ar₂kama gesi ya kubeba, filamu ya uwekaji majibu.Mipako iliyoandaliwa ni compact, sare na usafi wa juu.Hata hivyo, kuna baadhi ya matatizo kama vile mchakato mgumu, gharama ghali, udhibiti mgumu wa mtiririko wa hewa na ufanisi mdogo wa uwekaji.
SEHEMU YA 2
Mbinu ya kuokota tope:
Tope lililo na chanzo cha kaboni, chanzo cha tantalum, kisambazaji na kifunga hupakwa kwenye grafiti na kuchomwa kwenye joto la juu baada ya kukauka.Mipako iliyoandaliwa inakua bila mwelekeo wa kawaida, ina gharama ya chini na inafaa kwa uzalishaji mkubwa.Inabakia kuchunguzwa ili kufikia mipako ya sare na kamili kwenye grafiti kubwa, kuondokana na kasoro za usaidizi na kuimarisha nguvu ya kuunganisha mipako.
SEHEMU/3
Njia ya kunyunyizia plasma:
Poda ya TaC huyeyushwa na safu ya plasma kwenye joto la juu, hutiwa atomi katika matone ya joto la juu kwa jeti ya kasi, na kunyunyiziwa kwenye uso wa nyenzo za grafiti.Ni rahisi kuunda safu ya oksidi chini ya utupu usio na utupu, na matumizi ya nishati ni kubwa.
Kielelezo.Trei ya kaki baada ya kutumika katika kifaa cha MOCVD kilichokuzwa cha GaN epitaxial (Veeco P75).Ile iliyo upande wa kushoto imepakwa TaC na ile ya kulia imepakwa SiC.
TaC iliyofunikwasehemu za grafiti zinahitaji kutatuliwa
SEHEMU 1
Nguvu ya Kufunga:
Mgawo wa upanuzi wa mafuta na sifa nyingine za kimwili kati ya TaC na nyenzo za kaboni ni tofauti, nguvu ya kuunganisha mipako ni ya chini, ni vigumu kuepuka nyufa, pores na mkazo wa joto, na mipako ni rahisi kuondokana na hali halisi iliyo na kuoza na kuoza. mchakato wa kupanda na baridi unaorudiwa.
SEHEMU YA 2
Usafi:
Mipako ya TaCinahitaji kuwa na usafi wa hali ya juu ili kuepuka uchafu na uchafuzi wa mazingira chini ya hali ya joto la juu, na viwango vya ubora vya maudhui na viwango vya sifa vya kaboni isiyolipishwa na uchafu wa ndani juu ya uso na ndani ya mipako kamili inahitaji kukubaliwa.
SEHEMU/3
Uthabiti:
Upinzani wa joto la juu na upinzani wa angahewa juu ya 2300 ℃ ni viashiria muhimu zaidi vya kupima uthabiti wa mipako.Mishimo, nyufa, pembe zinazokosekana, na mipaka ya nafaka yenye mwelekeo mmoja ni rahisi kusababisha gesi babuzi kupenya na kupenya kwenye grafiti, na hivyo kusababisha kushindwa kwa ulinzi wa kupaka.
SEHEMU/4
Upinzani wa oxidation:
TaC huanza kuoksidisha hadi Ta2O5 ikiwa zaidi ya 500 ℃, na kiwango cha oksidi huongezeka sana na ongezeko la joto na mkusanyiko wa oksijeni.Oxidation ya uso huanza kutoka kwa mipaka ya nafaka na nafaka ndogo, na hatua kwa hatua huunda fuwele za safu na fuwele zilizovunjika, na kusababisha idadi kubwa ya mapengo na mashimo, na uingizaji wa oksijeni huongezeka hadi mipako itavuliwa.Safu ya oksidi inayotokana ina conductivity duni ya mafuta na aina ya rangi katika kuonekana.
SEHEMU/5
Usawa na ukali:
Usambazaji usio sawa wa uso wa mipako unaweza kusababisha mkusanyiko wa mkazo wa ndani wa mafuta, na kuongeza hatari ya kupasuka na kuenea.Kwa kuongeza, ukali wa uso huathiri moja kwa moja mwingiliano kati ya mipako na mazingira ya nje, na ukali wa juu sana husababisha kwa urahisi kuongezeka kwa msuguano na kaki na uwanja wa joto usio sawa.
SEHEMU/6
Ukubwa wa nafaka:
Ukubwa wa nafaka sare husaidia utulivu wa mipako.Ikiwa ukubwa wa nafaka ni ndogo, dhamana haipatikani, na ni rahisi kuwa oxidized na kutu, na kusababisha idadi kubwa ya nyufa na mashimo kwenye makali ya nafaka, ambayo hupunguza utendaji wa kinga ya mipako.Ikiwa ukubwa wa nafaka ni kubwa sana, ni kiasi mbaya, na mipako ni rahisi kufuta chini ya dhiki ya joto.
Muda wa posta: Mar-05-2024