Sahani ya usaidizi ya kiziba cha CARBIDE ya Tantalumni susceptor au muundo wa msaada ambao umefunikwa na safu nyembamba yatantalum carbudi. Mipako hii inaweza kuundwa juu ya uso wa kizio kwa mbinu kama vile uwekaji wa mvuke halisi (PVD) au uwekaji wa mvuke wa kemikali (CVD), ukiipa kinyesi sifa bora zatantalum carbudi.
Semicera hutoa mipako maalum ya tantalum carbudi (TaC) kwa vipengele mbalimbali na wabebaji.Mchakato wa upakaji unaoongoza wa Semicera huwezesha mipako ya tantalum carbudi (TaC) kufikia usafi wa juu, uthabiti wa joto la juu na uvumilivu wa juu wa kemikali, kuboresha ubora wa bidhaa wa fuwele za SIC/GAN na tabaka za EPI (Kishinikizo cha TaC kilichopakwa grafiti), na kupanua maisha ya vijenzi muhimu vya kinu. matumizi ya tantalum CARBIDE mipako TaC ni kutatua tatizo makali na kuboresha ubora wa ukuaji wa kioo, na mafanikio ya Semicera kutatuliwa tantalum CARBIDE mipako teknolojia (CVD), na kufikia ngazi ya juu ya kimataifa.
Baada ya miaka ya maendeleo, Semicera imeshinda teknolojia yaCVD TaCpamoja na juhudi za pamoja za idara ya R&D. Kasoro ni rahisi kutokea katika mchakato wa ukuaji wa kaki za SiC, lakini baada ya kutumiaTaC, tofauti ni muhimu. Ifuatayo ni ulinganisho wa kaki zenye na zisizo na TaC, pamoja na sehemu za Simicera kwa ukuaji wa fuwele moja.
Sifa kuu za sahani za msingi za tantalum carbide ni pamoja na:
1. Utulivu wa halijoto ya juu: Tantalum CARBIDE ina uthabiti bora wa halijoto ya juu, na kufanya sahani ya msingi iliyofunikwa kufaa kwa mahitaji ya usaidizi katika mazingira ya kazi ya joto la juu.
2. Upinzani wa kutu: Mipako ya CARBIDE ya Tantalum ina upinzani mzuri wa kutu, inaweza kupinga kutu na oxidation ya kemikali, na kupanua maisha ya huduma ya msingi.
3. Ugumu wa hali ya juu na upinzani wa kuvaa: Ugumu wa juu wa mipako ya CARBIDE ya tantalum hupa sahani ya msingi ya upinzani mzuri wa kuvaa, ambayo inafaa kwa matukio yanayohitaji upinzani wa juu wa kuvaa.
4. Uthabiti wa kemikali: Tantalum CARBIDE ina uthabiti wa hali ya juu kwa aina mbalimbali za dutu za kemikali, na kufanya sahani ya msingi iliyofunikwa kufanya kazi vizuri katika baadhi ya mazingira ya babuzi.
pamoja na bila TaC
Baada ya kutumia TaC (kulia)
Aidha, Semicera'sBidhaa zilizofunikwa na TaChuonyesha maisha marefu ya huduma na upinzani mkubwa wa halijoto ya juu ikilinganishwa naMipako ya SiC.Vipimo vya maabara vimeonyesha kuwa yetuMipako ya TaCinaweza kufanya kazi mara kwa mara kwenye joto hadi nyuzi joto 2300 kwa muda mrefu. Ifuatayo ni baadhi ya mifano ya sampuli zetu: