TaC iliyopakwa vibeba kaki vya epitaxialkawaida hutumiwa katika utayarishaji wa vifaa vya juu vya utendaji wa optoelectronic, vifaa vya nguvu, sensorer na nyanja zingine. Hiimtoaji wa kaki ya epitaxialinahusu utuaji waTaCfilamu nyembamba kwenye substrate wakati wa mchakato wa ukuaji wa fuwele ili kuunda kaki yenye muundo na utendaji mahususi kwa ajili ya utayarishaji wa kifaa kinachofuata.
Teknolojia ya uwekaji wa mvuke wa kemikali (CVD) kawaida hutumiwa kuandaaTaC iliyopakwa vibeba kaki vya epitaxial. Kwa kuitikia vianzilishi vya kikaboni vya chuma na gesi chanzo cha kaboni kwenye joto la juu, filamu ya TaC inaweza kuwekwa kwenye uso wa substrate ya fuwele. Filamu hii inaweza kuwa na mali bora ya umeme, macho na mitambo na inafaa kwa ajili ya maandalizi ya vifaa mbalimbali vya juu vya utendaji.
Semicera hutoa mipako maalum ya tantalum carbudi (TaC) kwa vipengele mbalimbali na wabebaji.Mchakato wa upakaji unaoongoza wa Semicera huwezesha mipako ya tantalum carbudi (TaC) kufikia usafi wa juu, uthabiti wa joto la juu na uvumilivu wa juu wa kemikali, kuboresha ubora wa bidhaa wa fuwele za SIC/GAN na tabaka za EPI (Kishinikizo cha TaC kilichopakwa grafiti), na kupanua maisha ya vijenzi muhimu vya kinu. matumizi ya tantalum CARBIDE mipako TaC ni kutatua tatizo makali na kuboresha ubora wa ukuaji wa kioo, na mafanikio ya Semicera kutatuliwa tantalum CARBIDE mipako teknolojia (CVD), na kufikia ngazi ya juu ya kimataifa.
Baada ya miaka ya maendeleo, Semicera imeshinda teknolojia yaCVD TaCpamoja na juhudi za pamoja za idara ya R&D. Kasoro ni rahisi kutokea katika mchakato wa ukuaji wa kaki za SiC, lakini baada ya kutumiaTaC, tofauti ni muhimu. Ifuatayo ni ulinganisho wa kaki zenye na zisizo na TaC, pamoja na sehemu za Simicera kwa ukuaji wa fuwele moja.
pamoja na bila TaC
Baada ya kutumia TaC (kulia)
Aidha, Semicera'sBidhaa zilizofunikwa na TaChuonyesha maisha marefu ya huduma na upinzani mkubwa wa halijoto ya juu ikilinganishwa naMipako ya SiC.Vipimo vya maabara vimeonyesha kuwa yetuMipako ya TaCinaweza kufanya kazi mara kwa mara kwenye joto hadi nyuzi joto 2300 kwa muda mrefu. Ifuatayo ni baadhi ya mifano ya sampuli zetu: