Silicon Carbide Substrates|SiC Wafers

Maelezo Fupi:

Semicera Energy Technology Co., Ltd ni muuzaji anayeongoza aliyebobea kwa kaki na vifaa vya matumizi vya hali ya juu vya semiconductor. Tumejitolea kutoa bidhaa za hali ya juu, za kuaminika, na za ubunifu kwa utengenezaji wa semiconductor, tasnia ya photovoltaic na nyanja zingine zinazohusiana.

Laini ya bidhaa zetu ni pamoja na bidhaa za grafiti zilizopakwa za SiC/TaC na bidhaa za kauri, zinazojumuisha vifaa mbalimbali kama vile silicon carbudi, nitridi ya silicon, na oksidi ya alumini na nk.

Kwa sasa, sisi ndio watengenezaji pekee wa kutoa mipako ya SiC ya 99.9999% na 99.9% iliyosasishwa tena ya silikoni. Urefu wa juu wa mipako ya SiC tunaweza kufanya 2640mm.

 

Maelezo ya Bidhaa

Lebo za Bidhaa

SiC-Kaki

Silikoni CARBIDE (SiC) nyenzo ya fuwele moja ina upana wa bendi kubwa (~Si mara 3), conductivity ya juu ya mafuta (~Si mara 3.3 au GaAs mara 10), kiwango cha juu cha kueneza kwa elektroni (~Si mara 2.5), umeme wa kuharibika kwa juu. shamba (~Si mara 10 au GaAs mara 5) na sifa zingine bora.

Vifaa vya SiC vina faida zisizoweza kubadilishwa katika uwanja wa joto la juu, shinikizo la juu, masafa ya juu, vifaa vya elektroniki vya nguvu kubwa na matumizi mabaya ya mazingira kama vile anga, jeshi, nishati ya nyuklia, n.k., hurekebisha kasoro za vifaa vya jadi vya semiconductor kwa vitendo. maombi, na hatua kwa hatua zinakuwa mkondo mkuu wa halvledare za nguvu.

4H-SiC Silicon CARBIDE substrate vipimo

Bidhaa项目

Specifications参数

Aina nyingi
晶型

4H -SiC

6H- SiC

Kipenyo
晶圆直径

inchi 2 | inchi 3 | inchi 4 | inchi 6

inchi 2 | inchi 3 | inchi 4 | inchi 6

Unene
厚度

330 μm ~ 350 μm

330 μm ~ 350 μm

Uendeshaji
导电类型

N - aina / nusu ya kuhami
N型导电片/ 半绝缘片

N - aina / nusu ya kuhami
N型导电片/ 半绝缘片

Dopant
掺杂剂

N2 (Nitrojeni)V (Vanadium)

N2 (Nitrojeni) V (Vanadium)

Mwelekeo
晶向

Kwenye mhimili <0001>
Mbali na mhimili <0001> mbali na 4°

Kwenye mhimili <0001>
Mbali na mhimili <0001> mbali na 4°

Upinzani
电阻率

0.015 ~ 0.03 ohm-cm
(4H-N)

0.02 ~ 0.1 ohm-cm
(6H-N)

Uzito wa Mabomba (MPD)
微管密度

≤10/cm2 ~ ≤1/cm2

≤10/cm2 ~ ≤1/cm2

TTV
总厚度变化

≤ 15 μm

≤ 15 μm

Upinde / Warp
翘曲度

≤25 μm

≤25 μm

Uso
表面处理

DSP/SSP

DSP/SSP

Daraja
产品等级

Uzalishaji / daraja la utafiti

Uzalishaji / daraja la utafiti

Mlolongo wa Kuweka kwa Kioo
堆积方式

ABCB

ABCABC

Kigezo cha kimiani
晶格参数

a=3.076A , c=10.053A

a=3.073A , c=15.117A

Mfano/eV(Bendi-pengo)
禁带宽度

3.27 eV

3.02 eV

ε (Dielectric Constant)
介电常数

9.6

9.66

Kielezo cha kutofautisha
折射率

n0 =2.719 ne =2.777

n0 =2.707 , ne =2.755

Vipimo vya sehemu ndogo ya 6H-SiC Silicon Carbide

Bidhaa项目

Specifications参数

Aina nyingi
晶型

6H-SiC

Kipenyo
晶圆直径

inchi 4 | inchi 6

Unene
厚度

350μm ~ 450μm

Uendeshaji
导电类型

N - aina / nusu ya kuhami
N型导电片/ 半绝缘片

Dopant
掺杂剂

N2 (Nitrojeni)
V ( Vanadium )

Mwelekeo
晶向

<0001> punguzo la 4°± 0.5°

Upinzani
电阻率

0.02 ~ 0.1 ohm-cm
(Aina ya 6H-N)

Uzito wa Mabomba (MPD)
微管密度

≤ 10/cm2

TTV
总厚度变化

≤ 15 μm

Upinde / Warp
翘曲度

≤25 μm

Uso
表面处理

Si Uso: CMP, Epi-Tayari
Uso wa C: Kipolandi cha Macho

Daraja
产品等级

Daraja la utafiti

Semicera Mahali pa kazi Sehemu ya kazi ya Semicera 2 Mashine ya vifaa Usindikaji wa CNN, kusafisha kemikali, mipako ya CVD Huduma yetu


  • Iliyotangulia:
  • Inayofuata: