Je, ni hatua gani kuu katika usindikaji wa substrates za SiC?

 

Jinsi tunavyozalisha hatua za usindikaji kwa substrates za SiC ni kama ifuatavyo:

 

1. Mwelekeo wa Kioo:

Kutumia mgawanyiko wa X-ray kuelekeza ingoti ya fuwele. Wakati boriti ya X-ray inapoelekezwa kwenye uso unaohitajika wa kioo, pembe ya boriti iliyotenganishwa huamua mwelekeo wa kioo.

 

2. Kusaga Kipenyo cha Nje:

Fuwele moja iliyopandwa katika crucibles ya grafiti mara nyingi huzidi kipenyo cha kawaida. Kusaga kipenyo cha nje huwapunguza kwa ukubwa wa kawaida.

 

 

3. Maliza Kusaga Uso:

Sehemu ndogo za inchi 4 za 4H-SiC kwa kawaida huwa na kingo mbili za kuweka, msingi na upili. Kusaga uso wa mwisho hufungua kingo hizi za kuweka.

 

4. Ushonaji wa Waya:

Sawing waya ni hatua muhimu katika usindikaji substrates 4H-SiC. Nyufa na uharibifu wa uso mdogo unaosababishwa wakati wa kusaga waya huathiri vibaya michakato inayofuata, kuongeza muda wa usindikaji na kusababisha upotezaji wa nyenzo. Njia ya kawaida ni sawing ya waya nyingi na abrasive ya almasi. Mwendo unaofanana wa nyaya za chuma zilizounganishwa na abrasives za almasi hutumiwa kukata ingot ya 4H-SiC.

 

5. Chamfering:

Ili kuzuia kukatwa kwa makali na kupunguza hasara zinazoweza kutumika wakati wa michakato inayofuata, kingo kali za chips zilizosokotwa kwa waya hupigwa kwa maumbo maalum.

 

6. Kukonda:

Sawing ya waya huacha mikwaruzo mingi na uharibifu wa uso wa chini. Kukonda hufanywa kwa kutumia magurudumu ya almasi ili kuondoa kasoro hizi iwezekanavyo.

 

7. Kusaga:

Utaratibu huu ni pamoja na kusaga na kusaga vizuri kwa kutumia boroni carbudi ya ukubwa mdogo au abrasives za almasi ili kuondoa uharibifu uliobaki na uharibifu mpya unaoletwa wakati wa kukonda.

 

8. Kusafisha:

Hatua za mwisho zinahusisha ung'aaji mbaya na ung'arishaji mzuri kwa kutumia abrasives za alumina au oksidi ya silicon. Kioevu cha polishing hupunguza uso, ambayo hutolewa kwa mitambo na abrasives. Hatua hii inahakikisha uso laini na usioharibika.

 

9. Kusafisha:

Kuondoa chembe, metali, filamu za oksidi, mabaki ya kikaboni na uchafuzi mwingine ulioachwa kutoka kwa hatua za uchakataji.