Je, ni hatua gani kuu katika usindikaji wa substrates za SiC?

Jinsi tunavyozalisha hatua za usindikaji kwa substrates za SiC ni kama ifuatavyo:

1. Mwelekeo wa Kioo: Kutumia mgawanyiko wa X-ray kuelekeza ingoti ya fuwele.Wakati boriti ya X-ray inapoelekezwa kwenye uso unaohitajika wa kioo, pembe ya boriti iliyotenganishwa huamua mwelekeo wa kioo.

2. Kusaga Kipenyo cha Nje: Fuwele moja iliyokuzwa katika crucibles ya grafiti mara nyingi huzidi kipenyo cha kawaida.Kusaga kipenyo cha nje huwapunguza kwa ukubwa wa kawaida.

Kusaga Uso wa Mwisho: Sehemu ndogo za inchi 4 za 4H-SiC kwa kawaida huwa na kingo mbili za kuweka, msingi na upili.Kusaga uso wa mwisho hufungua kingo hizi za kuweka.

3. Kushona kwa Waya: Kushona kwa waya ni hatua muhimu katika kuchakata substrates za 4H-SiC.Nyufa na uharibifu wa uso mdogo unaosababishwa wakati wa kusaga waya huathiri vibaya michakato inayofuata, kuongeza muda wa usindikaji na kusababisha upotezaji wa nyenzo.Njia ya kawaida ni sawing ya waya nyingi na abrasive ya almasi.Mwendo unaofanana wa nyaya za chuma zilizounganishwa na abrasives za almasi hutumiwa kukata ingot ya 4H-SiC.

4. Chamfering: Ili kuzuia kukatwa kwa kingo na kupunguza hasara zinazoweza kutumika wakati wa michakato inayofuata, kingo kali za chips zilizosokotwa kwa waya hupigwa kwa maumbo maalum.

5. Kukonda: Kukata waya huacha mikwaruzo mingi na uharibifu wa sehemu ndogo ya uso.Kukonda hufanywa kwa kutumia magurudumu ya almasi ili kuondoa kasoro hizi iwezekanavyo.

6. Kusaga: Utaratibu huu unajumuisha kusaga kwa ukali na kusaga vizuri kwa kutumia boroni carbudi ya ukubwa mdogo au abrasives ya almasi ili kuondoa uharibifu uliobaki na uharibifu mpya unaoletwa wakati wa kukonda.

7. Ung'arishaji: Hatua za mwisho zinahusisha ung'arishaji mbaya na ung'arishaji mzuri kwa kutumia abrasives za alumina au oksidi ya silicon.Kioevu cha polishing hupunguza uso, ambayo hutolewa kwa mitambo na abrasives.Hatua hii inahakikisha uso laini na usioharibika.

8. Kusafisha: Kuondoa chembe, metali, filamu za oksidi, mabaki ya kikaboni, na uchafu mwingine ulioachwa kutoka kwa hatua za usindikaji.