Kaki ya kaboni ya siliconimetengenezwa kwa unga wa silikoni wa usafi wa hali ya juu na unga wa kaboni safi zaidi kama malighafi, na fuwele ya silicon carbide hupandwa kwa njia ya uhamishaji wa mvuke (PVT), na kusindika kuwakaki ya silicon.
① Usanisi wa malighafi. Usafi wa hali ya juu wa unga wa silikoni na unga wa kaboni wa hali ya juu ulichanganywa kulingana na uwiano fulani, na chembe za silicon carbudi ziliunganishwa kwa joto la juu zaidi ya 2,000 ℃. Baada ya kusagwa, kusafisha na michakato mingine, malighafi ya poda ya silicon ya juu ambayo inakidhi mahitaji ya ukuaji wa kioo huandaliwa.
② Ukuaji wa kioo. Kwa kutumia unga wa hali ya juu wa SIC kama malighafi, fuwele ilikuzwa kwa njia ya uhamishaji wa mvuke (PVT) kwa kutumia tanuru ya ukuaji wa fuwele iliyojitengenezea.
③ usindikaji wa ingot. Ingoti ya fuwele ya silicon iliyopatikana ilielekezwa na kielekezi cha fuwele kimoja cha X-ray, kisha kusagwa na kuviringishwa, na kusindika kuwa fuwele ya silicon ya kipenyo cha kawaida.
④ Kukata kioo. Kutumia vifaa vya kukata safu nyingi, fuwele za carbudi ya silicon hukatwa kwenye karatasi nyembamba na unene wa si zaidi ya 1mm.
⑤ Kusaga Chip. Kaki hiyo husagwa hadi kujaa na ukali unaotaka kwa vimiminiko vya kusaga almasi vya ukubwa tofauti wa chembe.
⑥ Usafishaji wa chip. Carbudi ya silicon iliyosafishwa bila uharibifu wa uso ilipatikana kwa ung'aaji wa mitambo na ung'aaji wa mitambo ya kemikali.
⑦ Utambuzi wa chip. Tumia darubini ya macho, diffraktomita ya X-ray, darubini ya nguvu ya atomiki, kipima uwezo wa kustahimili uwezo wa kugusana, kipima usawaziko cha uso, kipimaji cha kina cha ulemavu wa uso na vifaa na vifaa vingine ili kugundua msongamano wa mikrotubu, ubora wa fuwele, ukali wa uso, uwezo wa kustahimili uwezo wa kustahimili uwezo wa kustahimili uwezo wa kustahimili uwezo wa kustahimili uwezo wa kustahimili hali ya hewa, uwezo wa kustahimili uwezo wa kustahimili uwezo wa kustahimili uwezo wa kustahimili uwezo wa kustahimili uwezo wa kustahimili uwezo wa kustahimili hali ya hewa, uwezo wa kustahimili uwezo wa kustahimili uwezo wa kustahimili uwezo wa kustahimili uwezo wa kustahimili hali ya hewa, kipima usawaziko wa uso, kipimaji cha kina cha ulemavu wa uso na vifaa na vifaa vingine ili kugundua msongamano wa mikrotubu, ubora wa fuwele, ukali wa uso, ustahimilivu, ukurasa wa kivita, mkunjo, mabadiliko ya unene, mwanzo wa uso na vigezo vingine vya kaki ya silicon. Kulingana na hili, kiwango cha ubora wa chip imedhamiriwa.
⑧ Kusafisha chip. Karatasi ya kung'arisha ya silicon carbide husafishwa kwa wakala wa kusafisha na maji safi ili kuondoa kioevu kilichobaki cha kung'arisha na uchafu mwingine wa uso kwenye karatasi ya kung'arisha, na kisha kaki hiyo hupulizwa na kutikiswa na kukaushwa na nitrojeni ya hali ya juu na mashine ya kukaushia; Kaki hiyo imezingirwa kwenye kisanduku cha laha safi katika chemba iliyo safi zaidi ili kuunda kaki ya silicon carbudi ya chini ya mkondo iliyo tayari kutumika.
Kadiri ukubwa wa chip ulivyo, ndivyo ukuaji wa kioo na teknolojia ya usindikaji inavyokuwa vigumu zaidi, na kadiri ufanisi wa utengenezaji wa vifaa vya mto unavyoongezeka, ndivyo gharama ya kitengo inavyopungua.
Muda wa kutuma: Nov-24-2023