Isostatic PECVD Graphite Boti

Maelezo Fupi:

Mashua ya grafiti ya PECVD ya isostatic hutumiwa sana katika viungo mbalimbali vya utengenezaji wa semiconductor, kama vile uwekaji wa filamu ya polysilicon, uwekaji wa filamu ya oksidi, uwekaji wa filamu ya nitridi, n.k. Utendaji wake bora unaifanya kuwa kibebea bora cha kaki katika mchakato wa PECVD.

Tutumie barua pepe

Maelezo ya Bidhaa

Lebo za Bidhaa

Boti ya grafiti ya SEMICERA isostatic PECVD ni bidhaa ya ubora wa juu, yenye uzito wa juu ya grafiti iliyoundwa kwa ajili ya usaidizi wa kaki katika mchakato wa PECVD (plasma iliyoimarishwa uwekaji wa mvuke wa kemikali). SEMICERA hutumia teknolojia ya hali ya juu ya kukandamiza isostatic ili kuhakikisha kwamba mashua ya grafiti ina upinzani bora wa halijoto ya juu, upinzani wa kutu, uthabiti wa kipenyo na upitishaji mzuri wa mafuta, ambayo ni kitu cha lazima katika mchakato wa utengenezaji wa semiconductor.

Boti ya grafiti ya SEMICERA isostatic PECVD ina faida zifuatazo:

▪ Usafi wa hali ya juu: Nyenzo ya grafiti ni ya usafi wa juu na maudhui ya uchafu mdogo ili kuepuka kuchafuliwa kwa uso wa kaki.

▪ Msongamano mkubwa: Msongamano mkubwa, nguvu ya juu ya mitambo, inaweza kuhimili joto la juu na mazingira ya utupu wa juu.

▪ Uthabiti mzuri wa dimensional: Mabadiliko madogo ya dimensional kwenye joto la juu ili kuhakikisha uthabiti wa mchakato.

▪ Uendeshaji bora wa mafuta: Hamisha joto kwa ufanisi ili kuzuia joto la kaki kupita kiasi.

▪ Ustahimilivu mkubwa wa kutu: Inaweza kustahimili mmomonyoko unaosababishwa na gesi babuzi na plazima.

Kigezo cha utendaji	semicera	SGL R6510	Kigezo cha utendaji
Uzito wa wingi (g/cm3)	1.91	1.83	1.85
Nguvu ya kuinama (MPa)	63	60	49
Nguvu ya kukandamiza (MPa)	135	130	103
Ugumu wa Pwani (HS)	70	64	60
Mgawo wa upanuzi wa joto (10-6/K)	85	105	130
Mgawo wa upanuzi wa joto (10-6/K)	5.85	4.2	5.0
Ustahimilivu (μΩm)	11-13	13	10

Faida za kuchagua sisi:
▪ Uchaguzi wa nyenzo: Nyenzo za grafiti za ubora wa juu hutumiwa ili kuhakikisha ubora wa bidhaa.
▪ Teknolojia ya usindikaji: Ukandamizaji wa Isostatic hutumiwa kuhakikisha msongamano wa bidhaa na usawa.
▪ Kurekebisha ukubwa: Boti za grafiti za ukubwa na maumbo tofauti zinaweza kubinafsishwa kulingana na mahitaji ya wateja.
▪ Matibabu ya uso: Mbinu mbalimbali za matibabu ya uso hutolewa, kama vile kupaka silicon carbudi, boroni nitridi, n.k., ili kukidhi mahitaji tofauti ya mchakato.