Tantalum Carbide Coated Wafer Susceptor

Tantalum Carbide Coated Wafer Kisceptor Picha Matukio

Maelezo Fupi:

Mipako ya CARBIDE ya Tantalum ni teknolojia ya hali ya juu ya upakaji wa uso ambayo hutumia nyenzo ya CARbudi ya tantalum kuunda safu ya kinga ngumu, inayostahimili kuchakaa na inayostahimili kutu kwenye uso wa substrate. Mipako hii ina mali bora ambayo huongeza kwa kiasi kikubwa ugumu wa nyenzo, upinzani wa joto la juu na upinzani wa kemikali, huku kupunguza msuguano na kuvaa. Mipako ya CARBIDE ya Tantalum hutumiwa sana katika nyanja mbalimbali, ikiwa ni pamoja na utengenezaji wa viwanda, anga, uhandisi wa magari na vifaa vya matibabu, kupanua maisha ya nyenzo, kuboresha ufanisi wa uzalishaji na kupunguza gharama za matengenezo. Iwe inalinda nyuso za chuma kutokana na kutu au kuimarisha upinzani wa kuvaa na upinzani wa oksidi wa sehemu za mitambo, mipako ya tantalum carbudi hutoa suluhisho la kuaminika kwa matumizi mbalimbali.

Tutumie barua pepe

Maelezo ya Bidhaa

Lebo za Bidhaa

Semicera hutoa mipako maalum ya tantalum carbudi (TaC) kwa vipengele mbalimbali na wabebaji.Mchakato wa upakaji unaoongoza wa Semicera huwezesha mipako ya tantalum carbudi (TaC) kufikia usafi wa juu, uthabiti wa joto la juu na uvumilivu wa juu wa kemikali, kuboresha ubora wa bidhaa wa fuwele za SIC/GAN na tabaka za EPI (Kishinikizo cha TaC kilichopakwa grafiti), na kupanua maisha ya vijenzi muhimu vya kinu. matumizi ya tantalum CARBIDE mipako TaC ni kutatua tatizo makali na kuboresha ubora wa ukuaji wa kioo, na Semicera Semicera ina mafanikio kutatuliwa tantalum CARBIDE mipako teknolojia (CVD), na kufikia ngazi ya juu ya kimataifa.

Baada ya miaka ya maendeleo, Semicera imeshinda teknolojia yaCVD TaCpamoja na juhudi za pamoja za idara ya R&D. Kasoro ni rahisi kutokea katika mchakato wa ukuaji wa kaki za SiC, lakini baada ya kutumiaTaC, tofauti ni muhimu. Ifuatayo ni ulinganisho wa kaki zilizo na na bila TaC, na vile vile sehemu za Simicera kwa ukuaji wa fuwele moja.

Sehemu ya Tac ya ukuaji wa fuwele moja

Antiwear tantalum carbide coating_ Hulinda vifaa dhidi ya uchakavu na kutu Picha Iliyoangaziwa

Graphite iliyofunikwa na pete ya TaC

pamoja na bila TaC

Baada ya kutumia TaC (kulia)

Kwa kuongezea, maisha ya huduma ya bidhaa za mipako ya TaC ya Semicera ni ndefu na sugu kwa joto la juu kuliko ile ya mipako ya SiC. Baada ya muda mrefu wa data ya vipimo vya maabara, TaC yetu inaweza kufanya kazi kwa muda mrefu kwa kiwango cha juu cha nyuzi 2300 Celsius. Zifuatazo ni baadhi ya sampuli zetu: