Semicera inatoa desturi ya hali ya juusilicon carbudi paddles cantileveriliyoundwa ili kuinua michakato ya utengenezaji wa semiconductor. UbunifuKitambaa cha SiCmuundo huhakikisha uimara wa kipekee na upinzani wa juu wa mafuta, na kuifanya kuwa sehemu muhimu ya kushughulikia kaki katika mazingira magumu ya joto la juu.
ThePala ya kaboni ya siliconimeundwa kuhimili mizunguko ya joto kali huku ikidumisha uadilifu wa muundo, kuhakikisha usafirishaji wa kaki unaotegemewa wakati wa awamu muhimu za uzalishaji wa semiconductor. Kwa nguvu ya juu ya mitambo, hiimashua ya kakihupunguza hatari ya uharibifu wa kaki, na kusababisha mavuno ya juu na ubora thabiti wa uzalishaji.
Mojawapo ya ubunifu muhimu katika pala ya Semicera ya SiC iko katika chaguzi zake maalum za muundo. Iliyoundwa ili kukidhi mahitaji maalum ya uzalishaji, pala hutoa kubadilika kwa kuunganishwa na usanidi wa vifaa mbalimbali, na kuifanya kuwa suluhisho bora kwa michakato ya kisasa ya uundaji. Ujenzi mwepesi lakini dhabiti huwezesha utunzaji rahisi na kupunguza wakati wa kufanya kazi, na kuchangia kuboresha ufanisi katika utengenezaji wa semiconductor.
Mbali na mali yake ya joto na mitambo,Pala ya kaboni ya siliconhutoa upinzani bora wa kemikali, kuruhusu kufanya kazi kwa uaminifu hata katika mazingira magumu ya kemikali. Hii huifanya kufaa hasa kwa matumizi katika michakato inayohusisha etching, uwekaji, na matibabu ya halijoto ya juu, ambapo kudumisha uadilifu wa mashua ya kaki ni muhimu kwa kuhakikisha matokeo ya ubora wa juu.
Mali ya kimwili ya Recrystallized Silicon Carbide | |
Mali | Thamani ya Kawaida |
Halijoto ya kufanya kazi (°C) | 1600°C (yenye oksijeni), 1700°C (mazingira ya kupunguza) |
Maudhui ya SiC | > 99.96% |
Maudhui ya bure ya Si | < 0.1% |
Wingi msongamano | 2.60-2.70 g/cm3 |
porosity inayoonekana | < 16% |
Nguvu ya kukandamiza | > 600 MPa |
Nguvu ya kupiga baridi | MPa 80-90 (20°C) |
Nguvu ya kupiga moto | MPa 90-100 (1400°C) |
Upanuzi wa joto @1500°C | 4.70 10-6/°C |
Uendeshaji wa joto @1200°C | 23 W/m•K |
Moduli ya elastic | 240 GPA |
Upinzani wa mshtuko wa joto | Nzuri sana |