Kaki ya Ukanda wa Kuelea hukuzwa kwa njia ya kuyeyusha ya Eneo la kuelea (mbinu ya kuyeyuka ya Eneo la Kuelea), pia inajulikana kama kaki ya kuyeyuka ya eneo, kaki ya FZ, ni kaki ya silikoni yenye usafi wa hali ya juu, inaweza kuchukua nafasi ya mchakato wa CZ moja kwa moja unaotolewa na kioo wa kaki za silicon.Ikilinganishwa na kaki zinazotengenezwa kwa kutumia mbinu ya CZ, kaki zilizopangwa zina manufaa mengi, kama vile hakuna crucible, mzigo mdogo wa uzalishaji, na hakuna kizuizi cha kiwango cha kuyeyuka, na kuifanya kuwa bora kwa matumizi kama vile moduli za jua, vifaa vya RF, na vifaa vya usahihi vya nguvu. Mkusanyiko wa oksijeni na uchafu wa kaboni katika vifurushi vya FZ ni mdogo, na nitrojeni huongezwa maalum ili kuboresha nguvu zake za mitambo.
Kipengee | Hoja | Sampuli ya uchunguzi |
Kiasi: |
| 100pcs |
Njia ya Ukuaji: | Eneo la kuelea | FZ |
Kipenyo: | 50/75/100/150/200/300mm | 100 mm |
Aina/Dopant: | P-Aina / N-Aina / Asili | Aina ya N |
Mwelekeo: | <1-0-0>/<1-1-0>/<1-1-1>或其它 | <100> |
Upinzani: | 100 ~ 30,000 ohm-cm | 3000 ohm-cm |
Unene: | 275 um ~ 775 um | 500um |
Maliza: | SSP/DSP | DSP |
Gorofa: | Notch/Frofa mbili za SEMI za kawaida | Notch |
Upinde/WARP: | <10 µm | <40um |
TTV: | <5 µm | <20um |
Daraja: | Mkuu / Mtihani / Dummy | Mkuu |