Silicon carbudi (SiC) epitaxy
Tray ya epitaxial, ambayo inashikilia substrate ya SiC kwa ajili ya kukuza kipande cha epitaxial cha SiC, kilichowekwa kwenye chumba cha majibu na huwasiliana moja kwa moja na kaki.
Sehemu ya juu ya nusu-mwezi ni kibeba vifaa vingine vya chumba cha majibu cha vifaa vya Sic epitaxy, wakati sehemu ya chini ya nusu-mwezi imeunganishwa kwenye bomba la quartz, ikianzisha gesi ya kuendesha msingi wa kizio kuzunguka. zinaweza kudhibiti joto na zimewekwa kwenye chumba cha majibu bila kuwasiliana moja kwa moja na kaki.
Kama epitaxy
Trei, ambayo inashikilia sehemu ndogo ya Si kwa ajili ya kukuza kipande cha Si epitaxial, iliyowekwa kwenye chemba ya majibu na hugusana moja kwa moja na kaki.
Pete ya preheating iko kwenye pete ya nje ya tray ya Si epitaxial substrate na hutumiwa kwa calibration na joto. Imewekwa kwenye chumba cha majibu na haiwasiliani moja kwa moja na kaki.
Kishinikizo cha epitaxial, ambacho kinashikilia kipande kidogo cha Si kwa ajili ya kukuza kipande cha Si epitaxial, kilichowekwa kwenye chemba ya majibu na hugusana moja kwa moja na kaki.
Pipa ya Epitaxial ni vipengele muhimu vinavyotumiwa katika michakato mbalimbali ya utengenezaji wa semiconductor, kwa ujumla kutumika katika vifaa vya MOCVD, na utulivu bora wa joto, upinzani wa kemikali na upinzani wa kuvaa, yanafaa sana kwa matumizi katika michakato ya joto la juu. Inawasiliana na kaki.
| Mali ya kimwili ya Recrystallized Silicon Carbide | |
| Mali | Thamani ya Kawaida |
| Halijoto ya kufanya kazi (°C) | 1600°C (yenye oksijeni), 1700°C (mazingira ya kupunguza) |
| Maudhui ya SiC | > 99.96% |
| Maudhui ya bure ya Si | <0.1% |
| Wingi msongamano | 2.60-2.70 g/cm3 |
| porosity inayoonekana | < 16% |
| Nguvu ya kukandamiza | > 600 MPa |
| Nguvu ya kupiga baridi | MPa 80-90 (20°C) |
| Nguvu ya kupiga moto | MPa 90-100 (1400°C) |
| Upanuzi wa joto @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| Uendeshaji wa joto @1200°C | 23 W/m•K |
| Moduli ya elastic | 240 GPA |
| Upinzani wa mshtuko wa joto | Nzuri sana |
| Tabia ya kimwili ya Sintered Silicon Carbide | |
| Mali | Thamani ya Kawaida |
| Muundo wa Kemikali | SiC>95%, Si<5% |
| Wingi Wingi | >3.07 g/cm³ |
| porosity inayoonekana | <0.1% |
| Moduli ya kupasuka kwa 20 ℃ | 270 MPa |
| Moduli ya kupasuka kwa 1200 ℃ | 290 MPa |
| Ugumu katika 20 ℃ | 2400 Kg/mm² |
| Ugumu wa kuvunjika kwa 20% | 3.3 MPa · m1/2 |
| Uendeshaji wa joto katika 1200 ℃ | 45 w/m .K |
| Upanuzi wa joto kwa 20-1200 ℃ | 4.5 1 × 10 -6/℃ |
| Kiwango cha juu cha joto cha kufanya kazi | 1400 ℃ |
| Upinzani wa mshtuko wa mafuta kwa 1200 ℃ | Nzuri |
| Sifa za kimsingi za filamu za CVD SiC | |
| Mali | Thamani ya Kawaida |
| Muundo wa Kioo | FCC β awamu ya polycrystalline, hasa (111) iliyoelekezwa |
| Msongamano | 3.21 g/cm³ |
| Ugumu 2500 | (500g mzigo) |
| Ukubwa wa Nafaka | 2 ~ 10μm |
| Usafi wa Kemikali | 99.99995% |
| Uwezo wa joto | 640 J·kg-1·K-1 |
| Joto la Usablimishaji | 2700 ℃ |
| Nguvu ya Flexural | 415 MPa RT 4-pointi |
| Modulus ya Vijana | 430 Gpa 4pt bend, 1300 ℃ |
| Uendeshaji wa joto | 300W·m-1·K-1 |
| Upanuzi wa Joto(CTE) | 4.5×10-6 K -1 |
Sifa kuu
Uso ni mnene na hauna pores.
Usafi wa hali ya juu, jumla ya maudhui ya uchafu <20ppm, uingizaji hewa mzuri.
Upinzani wa halijoto ya juu, nguvu huongezeka kwa kuongezeka kwa halijoto ya matumizi, kufikia thamani ya juu kabisa ifikapo 2750℃, usablimishaji saa 3600℃.
Moduli ya chini ya elastic, conductivity ya juu ya mafuta, mgawo wa chini wa upanuzi wa joto, na upinzani bora wa mshtuko wa joto.
Uthabiti mzuri wa kemikali, sugu kwa asidi, alkali, chumvi na vitendanishi vya kikaboni, na haina athari kwa metali zilizoyeyuka, slag na vyombo vingine vya babuzi. Haina oksidi kwa kiasi kikubwa katika angahewa chini ya 400 C, na kiwango cha oxidation huongezeka sana kwa 800 ℃.
Bila kutoa gesi yoyote kwa joto la juu, inaweza kudumisha utupu wa 10-7mmHg karibu 1800 ° C.
Maombi ya bidhaa
Chombo kinachoyeyuka kwa uvukizi katika tasnia ya semiconductor.
Lango la bomba la umeme la nguvu ya juu.
Brush inayowasiliana na kidhibiti cha voltage.
Graphite monochromator kwa X-ray na neutroni.
Maumbo anuwai ya substrates za grafiti na mipako ya mirija ya atomiki ya kunyonya.
Athari ya kupaka kaboni ya pyrolytic chini ya darubini ya 500X, yenye uso mzima na uliofungwa.
Mipako ya TaC ni nyenzo ya kizazi kipya inayostahimili halijoto ya juu, yenye uthabiti bora wa halijoto ya juu kuliko SiC. Kama mipako inayostahimili kutu, mipako ya kupambana na oxidation na mipako inayostahimili kuvaa, inaweza kutumika katika mazingira ya juu ya 2000C, inatumiwa sana katika sehemu za mwisho za joto la juu la anga la juu, kizazi cha tatu cha semiconductor moja ya ukuaji wa kioo.
| Tabia za kimwili za mipako ya TaC | |
| Msongamano | 14.3 (g/cm3) |
| Utoaji hewa maalum | 0.3 |
| Mgawo wa upanuzi wa joto | 6.3 10/K |
| Ugumu (HK) | 2000 HK |
| Upinzani | 1x10-5 Ohm * cm |
| Utulivu wa joto | <2500℃ |
| Mabadiliko ya ukubwa wa grafiti | -10 ~ -20um |
| Unene wa mipako | ≥220um thamani ya kawaida (35um±10um) |
Sehemu Imara za CVD SILICON CARBIDE zinatambuliwa kuwa chaguo la msingi kwa pete na besi za RTP/EPI na sehemu za matundu ya plasma zinazofanya kazi katika halijoto ya juu ya uendeshaji inayohitajika (> 1500°C), mahitaji ya usafi ni ya juu sana (> 99.9995%) na utendakazi ni mzuri hasa wakati kemikali za upinzani zinapokuwa nyingi. Nyenzo hizi hazina awamu za sekondari kwenye ukingo wa nafaka, kwa hivyo vipengele vya theil huzalisha chembe chache kuliko nyenzo nyingine. Kwa kuongeza, vipengele hivi vinaweza kusafishwa kwa kutumia HF/HCI ya moto na uharibifu mdogo, na kusababisha chembe chache na maisha marefu ya huduma.
