Inchi 6 N-aina ya SiC Substrate

Maelezo Fupi:

Semicera inatoa anuwai ya kaki za 4H-8H SiC. Kwa miaka mingi, tumekuwa mtengenezaji na muuzaji wa bidhaa kwa viwanda vya semiconductor na photovoltaic. Bidhaa zetu kuu ni pamoja na: sahani za silicon carbide etch, trela za mashua za silicon, boti za kaki za silicon (PV & Semiconductor), zilizopo za tanuru ya silicon, paddles za silicon carbide cantilever, chucks silicon carbudi, mihimili ya silicon carbudi, pamoja na mipako ya CVD na SiC. Mipako ya TaC. Inashughulikia masoko mengi ya Ulaya na Amerika. Tunatazamia kuwa mshirika wako wa muda mrefu nchini China.

 

Maelezo ya Bidhaa

Lebo za Bidhaa

Silikoni CARBIDE (SiC) nyenzo ya fuwele moja ina upana wa bendi kubwa (~Si mara 3), conductivity ya juu ya mafuta (~Si mara 3.3 au GaAs mara 10), kiwango cha juu cha kueneza kwa elektroni (~Si mara 2.5), umeme wa kuharibika kwa juu. shamba (~Si mara 10 au GaAs mara 5) na sifa zingine bora.

Nyenzo za semicondukta za kizazi cha tatu ni pamoja na SiC, GaN, almasi, n.k., kwa sababu upana wa pengo la bendi yake (Mfano) ni kubwa kuliko au sawa na volti 2.3 za elektroni (eV), pia inajulikana kama nyenzo za semiconductor za bendi pana. Ikilinganishwa na vifaa vya semiconductor vya kizazi cha kwanza na cha pili, vifaa vya semiconductor vya kizazi cha tatu vina faida ya conductivity ya juu ya mafuta, uwanja wa umeme wa kuvunjika kwa juu, kiwango cha juu cha uhamiaji wa elektroni na nishati ya juu ya kuunganisha, ambayo inaweza kukidhi mahitaji mapya ya teknolojia ya kisasa ya elektroniki kwa hali ya juu. joto, nguvu ya juu, shinikizo la juu, mzunguko wa juu na upinzani wa mionzi na hali nyingine kali. Ina matarajio muhimu ya matumizi katika nyanja za ulinzi wa taifa, usafiri wa anga, anga, uchunguzi wa mafuta, hifadhi ya macho, n.k., na inaweza kupunguza upotevu wa nishati kwa zaidi ya 50% katika tasnia nyingi za kimkakati kama vile mawasiliano ya broadband, nishati ya jua, utengenezaji wa magari, taa za semicondukta, na gridi mahiri, na inaweza kupunguza ujazo wa vifaa kwa zaidi ya 75%, ambayo ni ya umuhimu mkubwa kwa maendeleo ya sayansi na teknolojia ya binadamu.

Nishati ya Semicera inaweza kuwapa wateja vifaa vya ubora wa juu vya Conductive (Conductive), Semi-insulating (Semi-insulating), HPSI (High Purity semi-insulating) sehemu ndogo ya silicon CARBIDE; Kwa kuongeza, tunaweza kuwapa wateja karatasi za epitaxial za carbudi ya silicon ya homogeneous na tofauti; Tunaweza pia kubinafsisha karatasi ya epitaxial kulingana na mahitaji maalum ya wateja, na hakuna kiwango cha chini cha agizo.

Vipengee

Uzalishaji

Utafiti

Dummy

Vigezo vya Kioo

Aina nyingi

4H

Hitilafu ya mwelekeo wa uso

<11-20>4±0.15°

Vigezo vya Umeme

Dopant

n-aina ya Nitrojeni

Upinzani

0.015-0.025ohm · cm

Vigezo vya Mitambo

Kipenyo

150.0±0.2mm

Unene

350±25 μm

Mwelekeo wa msingi wa gorofa

[1-100] ±5°

Urefu wa msingi wa gorofa

47.5±1.5mm

Gorofa ya sekondari

Hakuna

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm(5mm*5mm)

≤5 μm(5mm*5mm)

≤10 μm(5mm*5mm)

Upinde

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Warp

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Ukali wa mbele(Si-face)(AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Muundo

Msongamano wa mikrobo

<1 ea/cm2

<10 kwa kila cm2

<15 E/cm2

Uchafu wa chuma

≤5E10atomi/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 kwa/cm2

NA

TSD

≤500 kwa kila cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Ubora wa mbele

Mbele

Si

Kumaliza uso

Si-face CMP

Chembe

≤60ea/kaki (ukubwa≥0.3μm)

NA

Mikwaruzo

≤5ea/mm. Urefu wa jumla ≤Kipenyo

Urefu wa jumla≤2*Kipenyo

NA

Maganda ya chungwa/mashimo/madoa/madoa/ nyufa/uchafuzi

Hakuna

NA

Vipande vya pembeni / indents / fracture / hex sahani

Hakuna

Maeneo ya polytype

Hakuna

Jumla ya eneo≤20%

Jumla ya eneo≤30%

Kuashiria kwa laser ya mbele

Hakuna

Ubora wa Nyuma

Mwisho wa nyuma

C-uso CMP

Mikwaruzo

≤5ea/mm,Jumla ya urefu≤2*Kipenyo

NA

Upungufu wa mgongo (chips za makali/indents)

Hakuna

Ukali wa mgongo

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Kuashiria kwa laser ya nyuma

1 mm (kutoka makali ya juu)

Ukingo

Ukingo

Chamfer

Ufungaji

Ufungaji

Epi-tayari na kifungashio cha utupu

Ufungaji wa kaseti za kanda nyingi

*Vidokezo: "NA" inamaanisha hakuna ombi Vipengee ambavyo havijatajwa vinaweza kurejelea SEMI-STD.

tech_1_2_size
Kaki za SiC

Semicera Mahali pa kazi Sehemu ya kazi ya Semicera 2 Mashine ya vifaa Usindikaji wa CNN, kusafisha kemikali, mipako ya CVD Huduma yetu


  • Iliyotangulia:
  • Inayofuata: