Semicera 3C-SiC Wafer Substrates imeundwa ili kutoa jukwaa thabiti la kizazi kijacho cha vifaa vya umeme vya umeme na vifaa vya masafa ya juu. Kwa mali ya juu ya mafuta na sifa za umeme, substrates hizi zimeundwa ili kukidhi mahitaji ya mahitaji ya teknolojia ya kisasa.
Muundo wa 3C-SiC (Cubic Silicon Carbide) wa Semicera Wafer Substrates hutoa manufaa ya kipekee, ikiwa ni pamoja na upitishaji wa juu wa mafuta na mgawo wa chini wa upanuzi wa mafuta ikilinganishwa na nyenzo zingine za semiconductor. Hii inawafanya kuwa chaguo bora kwa vifaa vinavyofanya kazi chini ya hali ya joto kali na hali ya juu ya nguvu.
Kwa voltage ya juu ya kukatika kwa umeme na uthabiti wa hali ya juu wa kemikali, Vidogo vya Kaki vya Semicera 3C-SiC huhakikisha utendakazi na kutegemewa kwa muda mrefu. Sifa hizi ni muhimu kwa programu kama vile rada ya masafa ya juu, mwangaza wa hali dhabiti, na vibadilishaji umeme, ambapo ufanisi na uimara ni muhimu.
Kujitolea kwa Semicera kwa ubora kunaonyeshwa katika mchakato wa utengenezaji wa kina wa Vidogo vyao vya 3C-SiC Wafer, kuhakikisha usawa na uthabiti katika kila kundi. Usahihi huu huchangia katika utendaji wa jumla na maisha marefu ya vifaa vya kielektroniki vilivyojengwa juu yake.
Kwa kuchagua Semicera 3C-SiC Wafer Substrates, watengenezaji hupata ufikiaji wa nyenzo ya kisasa ambayo huwezesha uundaji wa vipengee vidogo, vya haraka na vyema zaidi vya kielektroniki. Semicera inaendelea kuunga mkono uvumbuzi wa kiteknolojia kwa kutoa masuluhisho ya kuaminika ambayo yanakidhi mahitaji yanayoibuka ya tasnia ya semiconductor.
| Vipengee | Uzalishaji | Utafiti | Dummy |
| Vigezo vya Kioo | |||
| Aina nyingi | 4H | ||
| Hitilafu ya mwelekeo wa uso | <11-20>4±0.15° | ||
| Vigezo vya Umeme | |||
| Dopant | n-aina ya Nitrojeni | ||
| Upinzani | 0.015-0.025ohm · cm | ||
| Vigezo vya Mitambo | |||
| Kipenyo | 150.0±0.2mm | ||
| Unene | 350±25 μm | ||
| Mwelekeo wa msingi wa gorofa | [1-100] ±5° | ||
| Urefu wa msingi wa gorofa | 47.5±1.5mm | ||
| Gorofa ya sekondari | Hakuna | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Upinde | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Ukali wa mbele(Si-face)(AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Muundo | |||
| Msongamano wa mikrobo | <1 ea/cm2 | <10 kwa kila cm2 | <15 E/cm2 |
| Uchafu wa chuma | ≤5E10atomi/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 kwa/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 kwa kila cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Ubora wa mbele | |||
| Mbele | Si | ||
| Kumaliza uso | Si-face CMP | ||
| Chembe | ≤60ea/kaki (ukubwa≥0.3μm) | NA | |
| Mikwaruzo | ≤5ea/mm. Urefu wa jumla ≤Kipenyo | Urefu wa jumla≤2*Kipenyo | NA |
| Maganda ya chungwa/mashimo/madoa/madoa/ nyufa/uchafuzi | Hakuna | NA | |
| Vipande vya pembeni / indents / fracture / hex sahani | Hakuna | ||
| Maeneo ya polytype | Hakuna | Jumla ya eneo≤20% | Jumla ya eneo≤30% |
| Kuashiria kwa laser ya mbele | Hakuna | ||
| Ubora wa Nyuma | |||
| Mwisho wa nyuma | C-uso CMP | ||
| Mikwaruzo | ≤5ea/mm,Jumla ya urefu≤2*Kipenyo | NA | |
| Upungufu wa mgongo (chips za makali/indents) | Hakuna | ||
| Ukali wa mgongo | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Kuashiria kwa laser ya nyuma | 1 mm (kutoka makali ya juu) | ||
| Ukingo | |||
| Ukingo | Chamfer | ||
| Ufungaji | |||
| Ufungaji | Epi-tayari na kifungashio cha utupu Ufungaji wa kaseti za kanda nyingi | ||
| *Vidokezo: "NA" inamaanisha hakuna ombi Vipengee ambavyo havijatajwa vinaweza kurejelea SEMI-STD. | |||
